本系列是由无油爪泵和无油分子真空泵串联而成， 结合了两种泵的优点，结构紧凑，运行可靠。本单位是  国内唯一家具有干式分子泵机组的厂家。由于分子泵启 动条件比较严格，对前级泵的极限真空度要求比较苛 刻，必须在干泵真空度抽到<10Pa 后，分子泵才可以  启动，这样可以获得较高的真空度。广泛用于：真空实  验室等特殊无油高空度环境。用无油爪泵做前级泵，对  被抽环境无污染，无返油，维护周期长，且能维持长期 稳定的极限压力。